Semi-conducteurs

Paliers pneumatiques, joints tournants, collecteurs tournants et système combiné

Vos avantages

Technique de pointe pour les processus sous vide

La production de semi-conducteurs et de wafers requiert la plus grande précision. GAT répond aux exigences de la transmission par mouvement de rotation dans le vide en proposant des systèmes d’étanchéité à ferrofluide de pointe.

Pour une qualité maximale du vide

L’utilisation d’un système d’étanchéité à fluide magnétique entièrement inerte permet d’utiliser les joints tournants ROTOVAC dans des processus requérant une pureté maximale. Vous pouvez les utiliser dans un ultra-vide allant jusqu’à 10-8 mbar.

Combinaisons sur mesure pour les applications diverses

Les joints tournants à vide de GAT sont fabriqués sur mesure en fonction de vos exigences. La structure modulaire permet de proposer tous les équipements nécessaires, y compris les raccords avec les collecteurs tournants électriques.

Joints tournants:

rotovac_anwendungen_rotokombi
ROTOKOMBI MF38 V1-1 + M50 L1
Joints tournants ROTOVAC/ROTOPACK
Vitesse de rotation [tr/min]80
ParticularitésJoint tournant pour le vide ROTOVAC avec technologie d’étanchéité à ferrofluide
Joint tournant ROTOVAC
Système d’étanchéitéJoint d’étanchéité à ferrofluide
Nombre de canaux1
MédiumVide
Pression [mbar]10-5
Joint tournant ROTOPACK
Système d’étanchéitéJoint d’étanchéité à contact
Nombre de canaux1
MédiumGaz
Pression [bar]7

Collecteur tournant:

halbleiter_anwendungsbsp
ROTOFLUX ESR 70 /20
Collecteur électrique tournant ROTOFLUX
Vitesse de rotation [tr/min]15
Système de transmissionor/or
ParticularitésSystème d’étanchéité à ferrofluide entre arbre rotatif et boîtier stationnaire du collecteur tournant
Nombre de voies812
MédiumPuissanceSignaux
Transmission24 VCC/4 A30 VCC/20 A

Nos produits en détail
MiniatureTitreLangueTaille de fichierTélécharger
Catalogue des produitsAnglais5.0 MBPDF
MiniatureTitreLangueTaille de fichierTélécharger
Brochure Collecteurs TournantsAnglais1.8 MBPDF