Semi-conducteurs
Joints tournants, collecteurs tournants, système combiné et paliers pneumatiques
Vos avantages
Technique de pointe pour les processus sous vide
La production de semi-conducteurs et de wafers requiert la plus grande précision. GAT répond aux exigences de la transmission par mouvement de rotation dans le vide en proposant des systèmes d’étanchéité à ferrofluide de pointe.
Pour une qualité maximale du vide
L’utilisation d’un système d’étanchéité à fluide magnétique entièrement inerte permet d’utiliser les joints tournants ROTOVAC dans des processus requérant une pureté maximale. Vous pouvez les utiliser dans un ultra-vide allant jusqu’à 10-8 mbar.
Combinaisons sur mesure pour les applications diverses
Les joints tournants à vide de GAT sont fabriqués sur mesure en fonction de vos exigences. La structure modulaire permet de proposer tous les équipements nécessaires, y compris les raccords avec les collecteurs tournants électriques.
- Polissage mécanique chimique (CMP) et meulage
- Robots de manipulation de wafers
- Dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
- Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
- Systèmes de revêtement sous vide
Applications
Joints tournants:
ROTOKOMBI MF38 V1-1 + M50 L1
Joints tournants ROTOVAC/ROTOPACK | |||
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Vitesse de rotation [tr/min] | 80 | ||
Particularités | Joint tournant pour le vide ROTOVAC avec technologie d’étanchéité à ferrofluide |
Joint tournant ROTOVAC | |||
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Système d’étanchéité | Joint d’étanchéité à ferrofluide | ||
Nombre de canaux | 1 | ||
Médium | Vide | ||
Pression [mbar] | 10-5 |
Joint tournant ROTOPACK | |||
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Système d’étanchéité | Joint d’étanchéité à contact | ||
Nombre de canaux | 1 | ||
Médium | Gaz | ||
Pression [bar] | 7 |
Collecteur tournant:
ROTOFLUX ESR 70 /20
Collecteur électrique tournant ROTOFLUX | |||
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Vitesse de rotation [tr/min] | 15 | ||
Système de transmission | or/or | ||
Particularités | Système d’étanchéité à ferrofluide entre arbre rotatif et boîtier stationnaire du collecteur tournant | ||
Nombre de voies | 8 | 12 | |
Médium | Puissance | Signaux | |
Transmission | 24 VCC/4 A | 30 VCC/20 A |