Semiconduttori
Giunti rotanti, collettori rotanti, giunti combinati e cuscinetti pneumostatici
I vantaggi
Tecnologia consolidata per le lavorazioni a vuoto
Nella produzione di semiconduttori e wafer è richiesta la massima precisione. La GAT soddisfa i requisiti posti dalla trasmissione di un moto rotatorio nel vuoto grazie un sistema di tenuta a ferrofluido dalla tecnologia consolidata.
Per la migliore qualità del vuoto
Grazie all’impiego di una tenuta a liquido magnetico completamente inerte, i giunti rotanti ROTOVAC possono essere utilizzati nei processi con esigenze di purezza estremamente elevate. Possono essere impiegati per ultravuoto fino a 10-8 mbar.
Combinazioni specifiche per la vostra applicazione
I giunti rotanti per vuoto GAT vengono prodotti sulla base delle vostre esigenze e specifiche. La loro struttura modulare permette qualsiasi combinazione, inclusi i collettori rotanti.
- Lucidatura chimica meccanica (CMP) e molatura
- Robot per la manipolazione dei wafer
- Deposizione di vapore chimico (CVD)
- Deposizione fisica di vapore (PVD)
- Sistemi di rivestimento sotto vuoto
Applicazioni
Giunti rotanti:
ROTOKOMBI MF38 V1-1 + M50 L1
| Giunti rotanti ROTOVAC/ROTOPACK | |||
|---|---|---|---|
| Numero giri [min-1] | 80 | ||
| Particolarità | Giunto rotante per vuoto ROTOVAC con tecnologia di tenuta a ferrofluidi | ||
| Giunto rotante ROTOVAC | |||
|---|---|---|---|
| Sistema di tenuta | Tenuta a ferrofluidi | ||
| Numero di canali | 1 | ||
| Mezzo | Vuoto | ||
| Pressione [mbar] | 10-5 | ||
| Giunto rotante ROTOPACK | |||
|---|---|---|---|
| Sistema di tenuta | Tenuta a contatto | ||
| Numero di canali | 1 | ||
| Mezzo | Gas | ||
| Pressione [bar] | 7 | ||
Collettore rotante:
ROTOFLUX ESR 70 /20
| Collettore rotante ROTOFLUX | |||
|---|---|---|---|
| Numero giri [min-1] | 15 | ||
| Sistema di trasmissione | Oro/oro | ||
| Particolarità | Tenuta ferrofluida tra albero rotante e involucro stazionario del collettore | ||
| Numero vie | 8 | 12 | |
| Mezzo | Potenza | Segnali | |
| Trasmissione | 24 VDC/4 A | 30 VDC/20 A | |
