Semiconductores
Juntas rotativas, anillos rozantes, combinaciones y cojinetes de aire
Sus ventajas
Tecnología depurada para procesos de vacío
La producción de semiconductores y obleas requiere una precisión máxima. GAT satisface las exigencias planteadas por la transmisión de un movimiento de rotación en un vacío mediante un depurado sistema de sellado con ferrofluido.
Para un vacío de máxima calidad
La utilización de una junta de fluido magnético completamente inerte permite emplear la junta rotativa ROTOVAC en procesos con exigencias máximas en lo que respecta a la limpieza. Esta junta se puede usar en ultra alto vacío de hasta 10-8 mbar.
Combinaciones específicas para cada aplicación
Las juntas rotativas GAT para vacío se fabrican según los requisitos específicos de cada aplicación. Su modularidad permite equiparlas según sea necesario, incluso la conexión con anillos rozantes eléctricos.
- Pulido químico-mecánico y esmerilado
- Robots de manipulación de obleas
- Deposición química de vapor
- Deposición física de vapor
- Sistemas de recubrimiento al vacío
Casos de aplicacións
Juntas rotativas:
ROTOKOMBI MF38 V1-1 + M50 L1
| Juntas rotativas ROTOVAC/ROTOPACK | |||
|---|---|---|---|
| Velocidad [rpm] | 80 | ||
| Destacados | Junta rotativa de vacío ROTOVAC con tecnología de sellado de ferrofluidos | ||
| Junta rotativa ROTOVAC | |||
|---|---|---|---|
| Sistema de sellado | Sistema de sellado de ferrofluidos | ||
| Número de canales | 1 | ||
| Medio | Vacío | ||
| Presión [mbar] | 10-5 | ||
| Junta rotativa ROTOPACK | |||
|---|---|---|---|
| Sistema de sellado | Sello de contacto | ||
| Número de canales | 1 | ||
| Medio | Gas | ||
| Presión [bar] | 7 | ||
Anillo rozante:
ROTOFLUX 70 /20
| Anillo rozante ROTOFLUX | |||
|---|---|---|---|
| Velocidad [rpm] | 15 | ||
| Sistema de transmisión | Oro / oro | ||
| Destacados | Sellado de ferrofluido entre el eje giratorio y la carcasa estacionaria del anillo rozante | ||
| Número de canales | 8 | 12 | |
| Medio | Potencia | Señales | |
| Transmisión | 24 VDC/4 A | 30 VDC/20 A | |
