Semiconductores
Juntas rotativas, anillos rozantes, combinaciones y cojinetes de aire
Sus ventajas
Sofisticada tecnología para la producción de semiconductores
La producción de semiconductores y obleas requiere una precisión máxima. GAT satisface las exigencias planteadas por la transmisión de un movimiento de rotación mediante un depurado sistema de sellado.
Máxima precisión en el pulido químico-mecánico (CMP)
Uno de los procesos más importantes y críticos en la producción de discos duros semiconductores y obleas LED es el pulido químico-mecánico o planarización (CMP).
En el pulido químico-mecánico o planarización se consiguen superficies de material extremadamente lisas y planas en la producción de obleas mediante una combinación de efectos químicos y abrasivos,
que son necesarios principalmente para garantizar la funcionalidad de las conexiones presentes en la estructura de las placas de circuitos impresos.
El uso de nuestros equipos garantiza un proceso de pulido fiable y una manipulación segura de las obleas/tarjetas conductoras. Además, la preparación de la almohadilla de lijado tras el proceso de
planarización está controlada por nuestros equipos.
Combinaciones específicas para cada aplicación
Las juntas rotativas GAT se fabrican según los requisitos específicos de cada aplicación. Su modularidad permite equiparlas según sea necesario, incluso la conexión con anillos rozantes eléctricos.

- Pulido químico-mecánico y esmerilado
- Robots de manipulación de obleas
- Deposición química de vapor
- Deposición física de vapor
- Sistemas de recubrimiento al vacío
Casos de aplicacións
Juntas rotativas:

Juntas rotativas ROTOVAC/ROTOPACK | |||
---|---|---|---|
Velocidad [rpm] | 80 | ||
Destacados | Junta rotativa de vacío ROTOVAC con tecnología de sellado de ferrofluidos |
Junta rotativa ROTOVAC | |||
---|---|---|---|
Sistema de sellado | Sistema de sellado de ferrofluidos | ||
Número de canales | 1 | ||
Medio | Vacío | ||
Presión [mbar] | 10-5 |
Junta rotativa ROTOPACK | |||
---|---|---|---|
Sistema de sellado | Sello de contacto | ||
Número de canales | 1 | ||
Medio | Gas | ||
Presión [bar] | 7 |
Anillo rozante:

Anillo rozante ROTOFLUX | |||
---|---|---|---|
Velocidad [rpm] | 15 | ||
Sistema de transmisión | Oro / oro | ||
Destacados | Sellado de ferrofluido entre el eje giratorio y la carcasa estacionaria del anillo rozante | ||
Número de canales | 8 | 12 | |
Medio | Potencia | Señales | |
Transmisión | 24 VDC/4 A | 30 VDC/20 A |