Semiconductores

Juntas rotativas, anillos rozantes, combinaciones y cojinetes de aire

Sus ventajas

Sofisticada tecnología para la producción de semiconductores

La producción de semiconductores y obleas requiere una precisión máxima. GAT satisface las exigencias planteadas por la transmisión de un movimiento de rotación mediante un depurado sistema de sellado.

Máxima precisión en el pulido químico-mecánico (CMP)

Uno de los procesos más importantes y críticos en la producción de discos duros semiconductores y obleas LED es el pulido químico-mecánico o planarización (CMP).
En el pulido químico-mecánico o planarización se consiguen superficies de material extremadamente lisas y planas en la producción de obleas mediante una combinación de efectos químicos y abrasivos, que son necesarios principalmente para garantizar la funcionalidad de las conexiones presentes en la estructura de las placas de circuitos impresos.
El uso de nuestros equipos garantiza un proceso de pulido fiable y una manipulación segura de las obleas/tarjetas conductoras. Además, la preparación de la almohadilla de lijado tras el proceso de planarización está controlada por nuestros equipos.

Combinaciones específicas para cada aplicación

Las juntas rotativas GAT se fabrican según los requisitos específicos de cada aplicación. Su modularidad permite equiparlas según sea necesario, incluso la conexión con anillos rozantes eléctricos.

Semiconductores

    Casos de aplicacións

  1. Pulido químico-mecánico y esmerilado
  2. Robots de manipulación de obleas
  3. Deposición química de vapor
  4. Deposición física de vapor
  5. Sistemas de recubrimiento al vacío

Juntas rotativas:

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ROTOKOMBI MF38 V1-1 + M50 L1
Juntas rotativas ROTOVAC/ROTOPACK
Velocidad [rpm] 80
Destacados Junta rotativa de vacío ROTOVAC con tecnología de sellado de ferrofluidos
Junta rotativa ROTOVAC
Sistema de sellado Sistema de sellado de ferrofluidos
Número de canales 1
Medio Vacío
Presión [mbar] 10-5
Junta rotativa ROTOPACK
Sistema de sellado Sello de contacto
Número de canales 1
Medio Gas
Presión [bar] 7

Anillo rozante:

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ROTOFLUX 70 /20
Anillo rozante ROTOFLUX
Velocidad [rpm] 15
Sistema de transmisión Oro / oro
Destacados Sellado de ferrofluido entre el eje giratorio y la carcasa estacionaria del anillo rozante
Número de canales 8 12
Medio Potencia Señales
Transmisión 24 VDC/4 A 30 VDC/20 A

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