Halbleiter

Drehdurchführungen, Schleifringe, Kombinationen und Luftlager

Ihre Vorteile

Ausgereifte Technik für Vakuum-Prozesse

In der Produktion von Halbleitern und Wafern ist höchste Präzision gefragt. Die Anforderungen, die die Übertragung einer Rotationsbewegung ins Vakuum stellt, erfüllt GAT mit technisch ausgereiftem Ferrofluid-Dichtsystem.

Für höchste Vakuumqualität

Durch die Verwendung einer völlig inerten Magnetflüssigkeitsdichtung können die Drehdurchführungen ROTOVAC in Prozessen eingesetzt werden, die höchste Reinheitsanforderungen stellen. Möglich ist der Einsatz im Ultrahochvakuum bis 10-8 mbar.

Anwendungsspezifische Kombinationen

Vakuum-Drehdurchführungen von GAT werden anwendungsspezifisch nach Ihren Anforderungen gefertigt. Der modulare Aufbau ermöglicht alle benötigten Ausstattungen, auch die Verbindung mit elektrischen Schleifringen.

halbleiter

    Einsatzfälle

  1. Chemisch mechanisches Polieren (CMP) und Schleifen
  2. Wafer Handling Roboter
  3. Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
  4. Physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD)
  5. Vakuumbeschichtungsanlagen

Drehdurchführungen:

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ROTOKOMBI MF38 V1-1 + M50 L1
Drehdurchführungen ROTOVAC/ROTOPACK
Drehzahl [min-1] 80
Besonderheiten Vakuumdrehdurchführung ROTOVAC mit ferrofluider Dichtungstechnologie
Drehdurchführungen ROTOVAC
Dichtsystem Ferrofluiddichtung
Anzahl Kanäle 1
Medium Vakuum
Druck [mbar] 10-5
Drehdurchführung ROTOPACK
Dichtsystem Berührungsdichtung
Anzahl Kanäle 1
Medium Gas
Druck [bar] 7

Schleifring:

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ROTOFLUX ESR 70 /20
Schleifring ROTOFLUX
Drehzahl [min-1] 15
Übertragungssystem Gold/Gold
Besonderheiten Ferrofluide Abdichtung zwischen rotierender Welle und stationärem Gehäuse des Schleifrings
Anzahl Wege 8 12
Medium Leistung Signale
Übertragung 24 VDC/4 A 30 VDC/20 A

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