Halbleiter

Luftlager, Drehdurchführungen, Schleifringe und Kombinationen

Ihre Vorteile

Ausgereifte Technik für Vakuum-Prozesse

In der Produktion von Halbleitern und Wafern ist höchste Präzision gefragt. Die Anforderungen, die die Übertragung einer Rotationsbewegung ins Vakuum stellt, erfüllt GAT mit technisch ausgereiftem Ferrofluid-Dichtsystem.

Für höchste Vakuumqualität

Durch die Verwendung einer völlig inerten Magnetflüssigkeitsdichtung können die Drehdurchführung ROTOVAC in Prozessen eingesetzt werden, die höchste Reinheitsanforderungen stellen. Möglich ist der Einsatz im Ultrahochvakuum bis 10-8 mbar.

Anwendungsspezifische Kombinationen

Vakuum-Drehdurchführungen von GAT werden anwendungsspezifisch nach Ihren Anforderungen gefertigt. Der modulare Aufbau ermöglicht alle benötigten Ausstattungen, auch die Verbindung mit elektrischen Schleifringen.

Drehdurchführungen:

rotovac_anwendungen_rotokombi
ROTOKOMBI MF38 V1-1 + M50 L1
Drehdurchführungen ROTOVAC/ROTOPACK
Drehzahl [min-1]80
BesonderheitenVakuumdrehdurchführung ROTOVAC mit ferrofluider Dichtungstechnologie
Drehdurchführungen ROTOVAC
DichtsystemFerrofluiddichtung
Anzahl Kanäle1
MediumVakuum
Druck [mbar]10-5
Drehdurchführung ROTOPACK
DichtsystemBerührungsdichtung
Anzahl Kanäle1
MediumGas
Druck [bar]7

Schleifring:

halbleiter_anwendungsbsp
ROTOFLUX ESR 70 /20
Schleifring ROTOFLUX
Drehzahl [min-1]15
ÜbertragungssystemGold/Gold
BesonderheitenFerrofluide Abdichtung zwischen rotierender Welle und stationärem Gehäuse des Schleifrings
Anzahl Wege812
MediumLeistungSignale
Übertragung24 VDC/4 A30 VDC/20 A

Unsere Produkte im Detail
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