Halbleiter
Drehdurchführungen, Schleifringe, Kombinationen und Luftlager
Ihre Vorteile
Ausgereifte Technik für Vakuum-Prozesse
In der Produktion von Halbleitern und Wafern ist höchste Präzision gefragt. Die Anforderungen, die die Übertragung einer Rotationsbewegung ins Vakuum stellt, erfüllt GAT mit technisch ausgereiftem Ferrofluid-Dichtsystem.
Für höchste Vakuumqualität
Durch die Verwendung einer völlig inerten Magnetflüssigkeitsdichtung können die Drehdurchführungen ROTOVAC in Prozessen eingesetzt werden, die höchste Reinheitsanforderungen stellen. Möglich ist der Einsatz im Ultrahochvakuum bis 10-8 mbar.
Anwendungsspezifische Kombinationen
Vakuum-Drehdurchführungen von GAT werden anwendungsspezifisch nach Ihren Anforderungen gefertigt. Der modulare Aufbau ermöglicht alle benötigten Ausstattungen, auch die Verbindung mit elektrischen Schleifringen.
- Chemisch mechanisches Polieren (CMP) und Schleifen
- Wafer Handling Roboter
- Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
- Physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD)
- Vakuumbeschichtungsanlagen
Einsatzfälle
Drehdurchführungen:
ROTOKOMBI MF38 V1-1 + M50 L1
Drehdurchführungen ROTOVAC/ROTOPACK | |||
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Drehzahl [min-1] | 80 | ||
Besonderheiten | Vakuumdrehdurchführung ROTOVAC mit ferrofluider Dichtungstechnologie |
Drehdurchführungen ROTOVAC | |||
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Dichtsystem | Ferrofluiddichtung | ||
Anzahl Kanäle | 1 | ||
Medium | Vakuum | ||
Druck [mbar] | 10-5 |
Drehdurchführung ROTOPACK | |||
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Dichtsystem | Berührungsdichtung | ||
Anzahl Kanäle | 1 | ||
Medium | Gas | ||
Druck [bar] | 7 |
Schleifring:
ROTOFLUX ESR 70 /20
Schleifring ROTOFLUX | |||
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Drehzahl [min-1] | 15 | ||
Übertragungssystem | Gold/Gold | ||
Besonderheiten | Ferrofluide Abdichtung zwischen rotierender Welle und stationärem Gehäuse des Schleifrings | ||
Anzahl Wege | 8 | 12 | |
Medium | Leistung | Signale | |
Übertragung | 24 VDC/4 A | 30 VDC/20 A |