Semiconduttori

Giunti rotanti, collettori rotanti, giunti combinati e cuscinetti pneumostatici

I vantaggi

Tecnologia consolidata per le lavorazioni a vuoto

Nella produzione di semiconduttori e wafer è richiesta la massima precisione. La GAT soddisfa i requisiti posti dalla trasmissione di un moto rotatorio nel vuoto grazie un sistema di tenuta a ferrofluido dalla tecnologia consolidata.

Per la migliore qualità del vuoto

Grazie all’impiego di una tenuta a liquido magnetico completamente inerte, i giunti rotanti ROTOVAC possono essere utilizzati nei processi con esigenze di purezza estremamente elevate. Possono essere impiegati per ultravuoto fino a 10-8 mbar.

Combinazioni specifiche per la vostra applicazione

I giunti rotanti per vuoto GAT vengono prodotti sulla base delle vostre esigenze e specifiche. La loro struttura modulare permette qualsiasi combinazione, inclusi i collettori rotanti.

halbleiter

    Applicazioni


  1. Lucidatura chimica meccanica (CMP) e molatura
  2. Robot per la manipolazione dei wafer
  3. Deposizione di vapore chimico (CVD)
  4. Deposizione fisica di vapore (PVD)
  5. Sistemi di rivestimento sotto vuoto

Giunti rotanti:

rotovac_anwendungen_rotokombi
ROTOKOMBI MF38 V1-1 + M50 L1
Giunti rotanti ROTOVAC/ROTOPACK
Numero giri [min-1] 80
Particolarità Giunto rotante per vuoto ROTOVAC con tecnologia di tenuta a ferrofluidi
Giunto rotante ROTOVAC
Sistema di tenuta Tenuta a ferrofluidi
Numero di canali 1
Mezzo Vuoto
Pressione [mbar] 10-5
Giunto rotante ROTOPACK
Sistema di tenuta Tenuta a contatto
Numero di canali 1
Mezzo Gas
Pressione [bar] 7

Collettore rotante:

halbleiter_anwendungsbsp
ROTOFLUX ESR 70 /20
Collettore rotante ROTOFLUX
Numero giri [min-1] 15
Sistema di trasmissione Oro/oro
Particolarità Tenuta ferrofluida tra albero rotante e involucro stazionario del collettore
Numero vie 8 12
Mezzo Potenza Segnali
Trasmissione 24 VDC/4 A 30 VDC/20 A

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