Semiconduttori

Cuscinetti pneumostatici, giunti rotanti, collettori rotanti e giunti combinati

I vantaggi

Tecnologia consolidata per le lavorazioni a vuoto

Nella produzione di semiconduttori e wafer è richiesta la massima precisione. La GAT soddisfa i requisiti posti dalla trasmissione di un moto rotatorio nel vuoto grazie un sistema di tenuta a ferrofluido dalla tecnologia consolidata.

Per la migliore qualità del vuoto

Grazie all’impiego di una tenuta a liquido magnetico completamente inerte, i giunti rotanti ROTOVAC possono essere utilizzati nei processi con esigenze di purezza estremamente elevate. Possono essere impiegati per ultravuoto fino a 10-8 mbar.

Combinazioni specifiche per la vostra applicazione

I giunti rotanti per vuoto GAT vengono prodotti sulla base delle vostre esigenze e specifiche. La loro struttura modulare permette qualsiasi combinazione, inclusi i collettori rotanti.

Giunti rotanti:

rotovac_anwendungen_rotokombi
ROTOKOMBI MF38 V1-1 + M50 L1
Giunti rotanti ROTOVAC/ROTOPACK
Numero giri [min-1]80
ParticolaritàGiunto rotante per vuoto ROTOVAC con tecnologia di tenuta a ferrofluidi
Giunto rotante ROTOVAC
Sistema di tenutaTenuta a ferrofluidi
Numero di canali1
MezzoVuoto
Pressione [mbar]10-5
Giunto rotante ROTOPACK
Sistema di tenutaTenuta a contatto
Numero di canali1
MezzoGas
Pressione [bar]7

Collettore rotante:

halbleiter_anwendungsbsp
ROTOFLUX ESR 70 /20
Collettore rotante ROTOFLUX
Numero giri [min-1]15
Sistema di trasmissioneOro/oro
ParticolaritàTenuta ferrofluida tra albero rotante e involucro stazionario del collettore
Numero vie812
MezzoPotenzaSegnali
Trasmissione24 VDC/4 A30 VDC/20 A

Our products in detail
PreviewTitelLanguageSizeDownload
Product CatalogueEnglish5.0 MBPDF
PreviewTitelLanguageSizeDownload
Brochure Slip RingsEnglish1.8 MBPDF