Semiconduttori
Giunti rotanti, collettori rotanti, giunti combinati e cuscinetti pneumostatici
I vantaggi
Tecnologia sofisticata per la produzione di semiconduttori
Nella produzione di semiconduttori e wafer è richiesta la massima precisione. La GAT soddisfa i requisiti posti dalla trasmissione di un moto rotatorio nel vuoto grazie un sistema di tenuta dalla tecnologia consolidata.
Massima precisione per la lucidatura chimico-meccanica (CMP)
Uno dei processi più importanti e critici nella produzione di dischi rigidi per semiconduttori e wafer di LED è la lucidatura o planarizzazione chimico-meccanica (CMP).
Nella lucidatura o planarizzazione chimico-meccanica, le superfici dei materiali estremamente lisce e piatte vengono ottenute nella produzione di wafer attraverso una combinazione di effetti chimici
e abrasivi, necessari soprattutto per garantire la funzionalità delle connessioni presenti nella struttura dei circuiti stampati.
L’utilizzo delle nostre apparecchiature garantisce un processo di lucidatura affidabile e una manipolazione sicura dei wafer/schede conduttrici. Inoltre, la preparazione del pad di levigatura dopo
il processo di planarizzazione è controllata dalle nostre apparecchiature.
Combinazioni specifiche per la vostra applicazione
I giunti rotanti/a> GAT vengono prodotti sulla base delle vostre esigenze e specifiche. La loro struttura modulare permette qualsiasi combinazione, inclusi i collettori rotanti.

- Lucidatura chimica meccanica (CMP) e molatura
- Robot per la manipolazione dei wafer
- Deposizione di vapore chimico (CVD)
- Deposizione fisica di vapore (PVD)
- Sistemi di rivestimento sotto vuoto
Applicazioni
Giunti rotanti:

Giunti rotanti ROTOVAC/ROTOPACK | |||
---|---|---|---|
Numero giri [min-1] | 80 | ||
Particolarità | Giunto rotante per vuoto ROTOVAC con tecnologia di tenuta a ferrofluidi |
Giunto rotante ROTOVAC | |||
---|---|---|---|
Sistema di tenuta | Tenuta a ferrofluidi | ||
Numero di canali | 1 | ||
Mezzo | Vuoto | ||
Pressione [mbar] | 10-5 |
Giunto rotante ROTOPACK | |||
---|---|---|---|
Sistema di tenuta | Tenuta a contatto | ||
Numero di canali | 1 | ||
Mezzo | Gas | ||
Pressione [bar] | 7 |
Collettore rotante:

Collettore rotante ROTOFLUX | |||
---|---|---|---|
Numero giri [min-1] | 15 | ||
Sistema di trasmissione | Oro/oro | ||
Particolarità | Tenuta ferrofluida tra albero rotante e involucro stazionario del collettore | ||
Numero vie | 8 | 12 | |
Mezzo | Potenza | Segnali | |
Trasmissione | 24 VDC/4 A | 30 VDC/20 A |